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产品简介
采用感应/电阻式加热方式，在不锈钢腔体内以液相法生长SiC晶体，并可兼容物理气相法(PVT)。
可提供半定制化服务
6 ~ 8英寸 碳化硅长晶炉 (感应式/电阻式）
晶体尺寸 6 ~ 8英寸
工艺 LPE
加热方式 感应式/电阻式
基本参数 主机尺寸 W1450 x D1450 x H3900mm
整机重量 约2.2T
支持系统 电 源 容 量 50kVA（感应式）/ 280kVA（电阻式）
电 压 380VAC±10% , 3P, 50/60Hz
冷 却 水 压 力 0.3 ~ 0.5MPa
流 量 ＞200L/min
工艺气体 压 力 ＞0.2MPa
压缩空气 压 力 0.5~1.0MPa
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